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经济型扫描电子显微镜
日本电子扫描电镜JSM-6610
产品编号: 日本电子扫描电镜JSM-6610
产品型号: JSM-6610
所属类别: 经济型扫描电子显微镜
所属品牌: 日本电子
所属用途: 其它用途
应用领域: 其它用途
产品特性:
日本电子扫描电镜JSM-6610基本的功能是对各种固体样品表面进行高
日本电子扫描电镜JSM-6610基本的功能是对各种固体样品表面进行高分辨形貌观察。大景深图像是扫描电镜观察的特色,应用于生物学、植物学、地质学、冶金学等领域。、。
在JSM-6610 扫描电镜应用中,很多集中在器件和方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊 接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺 陷。
大样品室和马达驱动样品台
样品室对应样品的直径可达到200mm,5轴马达驱动确保了高 效率的样品移动和观察。
操作窗口
直观的操作界面的设计,简明易懂便于迅速掌握操作。
支持多用户
单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造高 效率的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。
同时显示两幅图像
画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。
微细结构测量
适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
标准的全对中样品台,能收录三维照片
3D Sight(选配件),能够进行平面测量和高度测量,实现立体俯视图。
从图像观察到元素分析,配合连贯一条龙
分析型扫描电子显微镜配备两台监视 器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析(EDS)。一只通用鼠标即可同时控制两台监视 器。大尺寸画面使操作更加简便与舒 适。
维护简便
工厂预置中 心灯丝,十分便于更换。因此,可长期保持稳定的高性能。此外,操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件,体现了操作稳定,维护简便的特色。
日本电子扫描电镜JSM-6610的技术规格
:
保证分辨率
3.0nm(30kV)
8.0nm(3kV)
15nm(1kV)
放大倍数
5至300,000x
加速电压
0.3kV至30kV
电子枪
工厂预对中灯丝
聚光镜
变焦聚光镜
物镜
锥形物镜
样品台
全对中样品台
X-Y
125mm-100mm
Z
5mm至80mm
旋转
360°
倾斜
-10°至+90°
排气系统
(高真空模式)
DPx1,RPx1
排气系统
(低真空模式)
DPx1,RPx2
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